Opis maszyny
Dane techniczne maszyny do napylania PVD KOLZER DGK36″
gabaryty komory roboczej (śr. x gł.) : ⌀ 1000 mm x 1300 mm
przemysłowy system automatyki w postaci komputera z zainstalowanym sterownikiem PLC bazującym na systemie Windows 10
źródło PVD sputtering: 1 szt.
generator PVD sputtering: 1 szt.
system plazmy: 1 szt.
wysokopróżniowa pompa dyfuzyjna: 2 szt.
automatyczny regulator próżni
klimatyzacja temperaturowo-wilgotnościowa panelu generatorów
poziomy wózek do łatwego załadunku/rozładunku detali: 2 szt.
regulator przepływu gazu (Mass Flow Controller): 2 szt.
system rotacyjny uchwytów satelitarnych 6/4 pozycje: 2 szt.
chiller: LAUDA Ultracool 0240 SP
części zamienne
osłona komory ze stali nierdzewnej: 2 szt.
roboczogodziny: 2873 h
certyfikat CE
ciśnienie powietrza: 6 bar